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關(guān)于鎳鉑合金靶材性能,制備方法及其應(yīng)用介紹

鉑合金靶材是一種銀灰色金屬靶材,它的熔點(diǎn)在1400-1650°C之間,密度為18.63克/厘米3,電阻率為29.8μΩ·cm(20°C)。這種合金靶材具有較高的純度,可用于制備各種高性能薄膜材料,應(yīng)用于電子、光學(xué)、磁性等領(lǐng)域。


鎳鉑合金靶材


鎳鉑合金靶材特征

鎳鉑靶材形狀:平面靶、異型定制

鎳鉑靶材純度:4N

鎳鉑靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制

我們還可以提供鎳鉑合金顆粒、鎳鉑合金粉末,鎳鉑合金棒。


鎳鉑合金靶材制備工藝

采用純度大于等于99.99%的鎳和純度大于等于99.95%的鉑作為原料,所用原料中鉑含量為1at.%-20at.%,原料在坩堝中進(jìn)行真空感應(yīng)熔煉成鎳鉑合金錠;

在真空度為0.3-4Pa條件下,采用真空電子束將鎳鉑合金錠熔煉成高純鎳鉑合金錠;

在950-1150℃下對(duì)高純鎳鉑合金錠進(jìn)行徑向熱鍛,然后將進(jìn)行徑向熱鍛后的高純鎳鉑合金錠進(jìn)行退火處理;

在950-1150℃下對(duì)退火處理后的高純鎳鉑合金錠進(jìn)行縱向墩粗,然后將進(jìn)行縱向墩粗后的高純鎳鉑合金錠進(jìn)行退火處理;

在600-800℃下對(duì)退火處理后的高純鎳鉑合金錠進(jìn)行熱軋,然后在10-40℃下對(duì)熱軋后的高純鎳鉑合金錠進(jìn)行冷軋,然后在600-700℃下對(duì)冷軋后的高純鎳鉑合金錠進(jìn)行再結(jié)品退火處理,形成晶粒尺寸小于100nm的鎳鉑合金靶坯;

對(duì)鎳鉑合金靶坯進(jìn)行機(jī)械加工,形成所需要的鎳鉑合金靶材。


鎳鉑合金靶材金相圖

上圖是鎳鉑合金靶材的金相圖


鎳鉑合金靶材材應(yīng)用

電子行業(yè):鎳鉑合金靶材在微電子和光電子領(lǐng)域中,用于薄膜沉積材料,具有高度的導(dǎo)電性和抗氧化性。

半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體設(shè)備中,金屬化層需要優(yōu)異的電學(xué)特性和化學(xué)穩(wěn)定性。鎳鉑合金靶材適用于半導(dǎo)體晶圓上的微電子加工,通過(guò)化學(xué)氣相沉積(CVD)或原子層沉積(ALD)技術(shù)使用,用于制造電源管理芯片和高頻射頻芯片。

光學(xué)涂層:鎳鉑合金靶材因其優(yōu)異的耐腐蝕性和高反射率,也被用于光學(xué)涂層,例如在鏡子、鏡頭或其他光學(xué)元件表面鍍上一層鎳鉑合金薄膜,以改善其光學(xué)性能。

磁性材料:鎳鉑合金靶材可以用于制備具有特定磁性的薄膜,比如在硬盤驅(qū)動(dòng)器等數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備中的磁頭涂層。

耐腐蝕涂層:由于鎳鉑合金的耐腐蝕性能強(qiáng),其靶材也用于在金屬表面制備保護(hù)層,防止金屬受到腐蝕,延長(zhǎng)其使用壽命。


鎳鉑合金其他應(yīng)用

工業(yè)領(lǐng)域:鎳鉑合金通常具有較高的熔點(diǎn)、良好的耐腐蝕性和機(jī)械強(qiáng)度,可用于制造高溫?zé)犭娕?、催化劑、電極以及高溫裝置的零部件等。

電子領(lǐng)域:鎳鉑合金具有良好的導(dǎo)電性和熱穩(wěn)定性,在電子器件和傳感器等領(lǐng)域具有潛在的應(yīng)用價(jià)值,例如用于制造集成電路中的互連線、阻擋層、通孔、接觸層和金屬柵等薄膜。

能源領(lǐng)域:在燃料電池和電解槽中,鎳鉑合金可以作為催化劑,幫助轉(zhuǎn)化化學(xué)能為電能或其他形式的能量。

生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域:鎳鉑合金在某些情況下顯示出良好的生物相容性,因此在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域也有一定的應(yīng)用,例如用于藥物遞送、生物成像和疾病研究等方面。


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