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長沙鑫康新材料有限公司 金屬靶材 鈦（Ti）靶材
鈦（Ti）靶材
鈦（Ti）靶材
產品類別
高純金屬靶材
產品名稱
鈦（Ti）靶材
元素符號
Ti
純度
2N7, 4N, 4N5, 5N
形狀
平面靶 旋轉靶 異型定制
鈦（Ti）靶材概述

       鈦靶材，鈦元素符號 Ti ，原子序數 22 ，密度 4.454g/Cm3 ，物理性質：熔點 1668℃，沸點 3262℃，比熱容 0.52（J /(Kg·K) ，蒸發熱 421（KJ/Mol），熔化熱 15.45（KJ/Mol），導電率 0.0234（106/Cm） 。由于高純鈦的成本相當昂貴，應用領域極其有限，主要用作半導體材料和超高真空裝置中的吸氣材料。高純鈦具有吸氣性，特別是吸氫、CH4、Co2氣體，因此它能在高真空和超高真空系統中獲得廣泛應用。用高純鈦濺射制作LSI、VLSI、ULSI的線路網時，可使這些集成件變得格外輕、薄、尺寸小而且線路密集。高純鈦靶材也可以用作阻擋層金屬材料。下圖是鈦濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測圖片，平均粒徑<50um。

鈦靶材.jpg 高純鈦靶材.jpg

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      我們生產高純度的濺射靶材，它重要的好處是在物理氣相沉積的過程中，能獲得具有優異的導電率和顆粒小化的薄膜。以下表格是4N5高純鈦濺射靶的成分分析證明書。采用的分析方法：1. 使用GDMS或ICP-OES對金屬元素進行分析；2. 使用LECO進行氣體元素分析。 

鈦靶材參數.jpg

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