鈷靶材,鈷是具有光澤的銀灰色金屬,熔點1493℃、比重8.9,比較硬而脆,鈷是鐵磁性的,在硬度、抗拉強度、機械加工性能、熱力學性質(zhì)、電化學行為方面與鐵和鎳相類似,加熱到1150℃時磁性消失。純度為99.9-99.99%的鈷已經(jīng)廣泛應用于磁性材料、超級合金的制造,99.999%甚至更高純度的鈷用來作為先進電子元件的靶材。鑫康制造的高純鈷靶材主要應用于磁記錄材料、磁傳感器材料、光電材料等高技術(shù)領(lǐng)域。下圖是鈷濺射靶材的顯微金相檢測圖片,平均粒徑<100μm。
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我們生產(chǎn)高純度的鈷濺射靶材,它大的優(yōu)點是具有高透磁性,這樣的好處是在物理氣相沉積的過程中,靶材能順利起弧并開始使用。下面的表格是典型的3N5鈷濺射靶的成分分析證明書。采用的分析方法:1.使用ICP-OES 對金屬元素進行分析; 2.使用LECO 進行氣體元素分析。