釔濺射靶與其原材料具有相同的性能。沸點 3345℃,熔點 1526℃,密度 4.47g/cm3,是一種灰黑色金屬,有延展性,與熱水能起反應,易溶于稀酸。由于它們在地殼中的含量稀少,它們的氧化物與氧化鈣等土族元素性質相似,因而得名。 釔在工業中用途很廣,它可用作釔磷光體使電視屏幕產生紅色彩,還用于某些射線的濾波器、超導體和超合金及特種玻璃;釔耐高溫和耐腐蝕,可作核燃料的包殼材料;釔與多種氨羧配合劑能生成穩定的螯合物;含釹的釔鋁石榴石是優良的激光材料,釔鐵石榴石是優良的激光材料,釔鐵石榴石和釔鋁石榴石是新型磁性材料。
標準釔濺射材料用于薄膜鍍膜,CD-ROM,裝飾,平板顯示器,功能性鍍膜,以及其他光學信息存儲空間行業,汽車玻璃和建筑玻璃等玻璃鍍膜行業,光通信等。 釔濺射靶還可以用于IT-SOFC的氧化釔穩定氧化鋯層薄膜的物理氣相沉積。