鎢靶材，鎢的化學元素符號是W，原子序數是74，相對原子質量為183.85，原子半徑為137皮米，密度為19.35克/每立方厘米，屬于元素周期表中第六周期（第二長周期）的VIB族。鎢在自然界主要呈六價陽離子，其離子半徑為0.68×10-10m。由于W6+離子 半徑小，電價高，極化能力強，易形成絡陰離子，因此鎢主要以絡陰離子形式[WO4]2-，與溶液中的Fe2+、Mn2+、Ca2+等陽離子結合形成黑鎢礦或白鎢礦沉淀。經過冶煉后的鎢是銀白色有光澤的金屬，熔點極高，硬度很大，蒸氣壓很低，蒸發速度也較小，化學性質也比較穩定。鎢可以制造槍械、火箭推進器的噴嘴、切削金屬的刀片、鉆頭、超硬模具、拉絲模等等，用途十分廣泛，合金系狀態中主要的是合金鋼、純鎢的各種鍛造件用于電子管生產、無線電電子學和X射技術中，化合物主要用于生產某些類型的漆和顏料、油墨、電鍍等方面，也用作催化劑等。下圖是鎢濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測圖片，平均粒徑<50um。
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我們生產高純度的濺射靶材，它重要的好處是在物理氣相沉積的過程中，能獲得具有優異的導電率和顆粒小化的薄膜。以下表格是3N5高純鎢濺射靶的成分分析證明書。采用的分析方法：1，使用ICP-OES對金屬元素進行分析；2，使用LECO進行氣體元素分析。
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